產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)：
1.高精度平臺(tái)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì);
2. 支持載板ABF膜鉆孔并兼容8寸、12寸晶圓晶級(jí)鉆孔;
3. 激光具備E-pulse功能，在高動(dòng)態(tài)過(guò)程中保持脈沖 能量穩(wěn)定（快速改變參數(shù)，如能量和頻率）;
4. 采用高速高精密直線電機(jī)模組和全閉環(huán)數(shù)控系統(tǒng);
5. 支持Punch；circle; spiral;劃線等工藝的加工。